產(chǎn)品簡(jiǎn)介

PBO固化高溫?zé)o氧烘箱-PI烘箱 RT+450℃ 產(chǎn)品適用于：適用于BCB、PI、PBO膠固化，半導(dǎo)體晶圓，光刻膠固化，光刻膠預(yù)烘/堅(jiān)膜、CPI固化潔凈無(wú)氧等要求，在生物、醫(yī)藥、LCD、LED、光學(xué)鍍膜、電子元器件等行業(yè)內(nèi)的無(wú)氧化干燥烘烤工藝要求，產(chǎn)品也可接受非標(biāo)定制。

PBO固化高溫?zé)o氧烘箱-PI烘箱 RT+450℃ 主要技術(shù)參數(shù)：

PBO固化高溫?zé)o氧烘箱-PI烘箱 RT+450℃ 結(jié)構(gòu)特點(diǎn)：

總體由箱體部分，電氣控制柜部分，電加熱部分，風(fēng)道部分，塵埃物過(guò)濾部分，N2 進(jìn)氣排氣部分等組裝而成，結(jié)構(gòu)合理，功能實(shí)用。

外箱材料:外箱采用SS41#中碳鋼板經(jīng)磷酸皮膜鹽處理后兩層防光面涂裝烤漆可防止微塵，

內(nèi)膽材料：內(nèi)箱采用進(jìn)口SUS304#1.2mm不銹鋼板全周氬焊,并經(jīng)堿性蘇打水清潔有效的防止了機(jī)臺(tái)本身灰塵的產(chǎn)生。

保溫材料：采用正廠中央玻璃纖維公司出品的100K級(jí)高密度保溫板填充，有效的防止了熱能浪費(fèi)。

電熱部分：采用進(jìn)口覆套式電熱器（SHEATHED HEATER）無(wú)塵無(wú)氧化電熱發(fā)生器

風(fēng)道部分：整體結(jié)構(gòu)采用了水平送風(fēng)的方式由左向右送風(fēng)后經(jīng)美國(guó)進(jìn)口H.E.P.A，(特殊風(fēng)道設(shè)計(jì))過(guò)濾效果可達(dá)99.99%,Class100；

排氣及進(jìn)氣：排氣口采用自動(dòng)風(fēng)門設(shè)計(jì)以達(dá)到強(qiáng)烈的循環(huán)效果及快速降溫，進(jìn)氣口加附N2流量計(jì)控制進(jìn)氣量，入氣口10mm氧含量可達(dá)到100PPM以下

四，可靠*的測(cè)控系統(tǒng)

溫度控制裝置：日本進(jìn)口富士PXF系列溫控器，內(nèi)置PID自動(dòng)整定，斜率設(shè)定功能

溫度控制方式為SSR固態(tài)繼電器功率調(diào)整輸出，溫度采集探頭為特制鎧裝K型熱電偶

五，完善的控制系統(tǒng)，及安全防護(hù)措施

操作控制系統(tǒng)，日本進(jìn)口富士PXF系列溫控器，程式化操作更可靠，更高效。

含氧量分析系統(tǒng)，采用國(guó)產(chǎn)氧含量分析儀，可實(shí)時(shí)監(jiān)控箱體內(nèi)的氧含量。啟動(dòng)時(shí)間大約15分鐘。

防護(hù)措施：超溫保護(hù),斷線報(bào)警，相序保護(hù)，過(guò)載保護(hù)，短路保護(hù)，漏電保護(hù)，及電磁門禁保護(hù)等。

六,設(shè)備使用條件：

環(huán)境條件:溫度5~40℃之間：濕度≤85%R.H：

電   源：3P AC380V，50HZ

使用環(huán)境：無(wú)強(qiáng)烈振動(dòng)，無(wú)強(qiáng)烈磁場(chǎng)影響，無(wú)腐蝕性氣體：

氣   壓：200~500Kpa：

安裝使用環(huán)境：箱體周圍應(yīng)留有500mm的空間供產(chǎn)品安裝，維修使用。

七,配備的技術(shù)資料：

提供產(chǎn)品合格證、保修卡、使用說(shuō)明書、儀表說(shuō)明書等相關(guān)資料壹套，客戶可根據(jù)需要選擇書面文件或索取電子文檔